低温乾式表面処理-特殊三次元スパッタリング加工

 株式会社日翔工業
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 スパッタリング加工 
 
 スパッタリングとは・・・
真空中に不活性ガス(主にArガス)を導入しながら基材とターゲット
(成膜される物質:クロムやチタンなど)間に高電圧を印加して、
グロー放電を発生させます。
それにより、プラズマ化された不活性ガス原子がイオン化されArプラスイオンを
高速でターゲットに衝突させ弾き飛ばされたターゲット物質が基材に向かって
勢いよく飛び成膜させる表面処理方法です。

一般的には、基板などの平面平板形状にしか成膜ができませんが
弊社のオリジナル装置は
円筒形状や立体形状品など様々な形状にも対応できます。
また、サイズに関しましても卓上サイズと非常に小さなサイズが多いですが、
弊社の装置はそれに比べ
非常に大きく人が4人程度入れる大型装置であるため
他社様で対応できないサイズもお任せ下さい。
 スパッタリングのイメージ  
 
 水たまりに石を投げ入れると、勢いよく水しぶきが
飛び跳ねて周囲の物に付着します。

石=不活性ガス原子

水たまり=成膜させる物質

周囲の物=成膜させたい製品
 
また、不活性ガス(主にAr)と共に微量のO2・N2ガスをチャンバー内に
流すことにより酸化物や窒化物の反応性スパッタリングを行うことができます。


1、乾式メッキに分類されます 
 ワークが電解液に浸からないので浸漬処理に不向きな物にも成膜が可能です。
仕上がりのイメージとしてはメッキ仕上げとほぼ同じの物を想像して頂ければ良いと思います。
 
2、単元素金属や金属化合物による機能膜が可能 
 クロム(Cr)やチタン(Ti)などの単元素金属膜は勿論の事、反応性スパッタによる酸化物膜、
窒化物膜などを成膜することにより、カラースパッタリングが可能です。
 
3、低温スパッタで熱変形しない 
 ワークへの熱ダメージが極めて少ないので、熱に弱い樹脂製品にも成膜が可能です。
 
4、様々な素材に強い付着強度を持たせられる 
 ガラスや金属だけでなく、PC、PET、PP、ABS等の樹脂やセラミックなど色々の製品の素材に
対して強い密着性を得ることが出来ます。
 
5、立体形状にも対応 
板状のワークだけでなく、筒形状、棒形状の外周部や3次元の立体形状の物にも成膜が可能です。
 
6、成膜したくない部分は、マスキングで対応 
 マスキングを行った状態で成膜することにより、部分スパッタが可能です。
 
7、薄い金属膜が可能 
 シルク印刷や塗装で実現される膜厚なインクや塗料ではなく、薄膜の光沢金属層が形成できます。
(下地の面粗度の質感がそのまま表面に出ます)
8、素通し~半透明~不透過が可能 
 膜厚をコントロールすることにより普通に見るとミラーに見えますが、
見る角度によって光を
透過するハーフミラー調の成膜が可能です。
9、最大ワークサイズ 
 ワークサイズ     Φ1000×高さ1500mm内に収まる形状品
 (Φ1200×2100mm 真空蒸着めっき加工対応)
アルミホイルのような製品でも単品仕様なら可能です。
10、1個の単品物から量産まで対応 
 1個の試作からでも対応可能です。
国内最大級クラスの量産大型バッチ装置であるので、
大量の量産制作も対応できます。
また、大量のワーク処理が可能であるため成膜単価は非常に安くすることが可能です。
 



 多くの業界実績 ~スパッタリングが変える~
 『装飾』

素地を活かす
高級感の輝き
   『導通』

通電しない
物質へ導通
機能を付加
 
『保護』

コーティング
耐摩耗
耐蝕
  『メタル』

樹脂素材を
リアルな
金属光沢に
 
 
『追従』

分子レベルでの
成膜のため
大きな追従性
 
  『耐熱』

金属であるため
抜群の耐熱性
 
 
『ハーフミラー

ナノ制御の
高精度膜厚調整
 
  Ti Cr Al Cu etc

『特性』

金属特有の
特性を付加
 
 
 『コンタクト
メタル』

湿式メッキ
の下地電極
  『光触媒』

親水・抗菌
脱臭・浄化
防塵・花粉対策
 
『マスキング』

低温加工により
マスクが可能 
  『紫外線』

薄膜により
紫外線劣化防止
 
 『大型サイズ』

大きな製品も
成膜が可能
  『カラー』

光の特性を
利用し色調表現
 
 
 
 様々な素材にメッキ加工が可能
金属、樹脂、ガラス、カーボン、繊維、紙 など
 装飾膜・・
乾式メッキ カラーメタリック ハーフミラー マジックミラー 
部分装飾 精密リアル
 
  保護膜・・
コーティング 紫外線抑制(UVcut) 耐摩耗性 耐蝕性 ガスバリア
耐熱性 金属アレルギー対策
 
  機能膜・・
通電 コンタクトメタル 耐熱 電磁波シールド 表面改質 
メタル機能 フレキシブル 光触媒 撥水 親水 摺動性
 


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